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芯明天放大机构式压电扫描台 P12压电扫描台为压电陶瓷驱动、1~3维并联式平移扫描台，台体中心圆形通孔孔径可选25mm或35mm，满足显微等应用。压 电扫描台可以实现单轴320μm的位移行程，一体式结构使得多维运动无耦合、多种规格型号可选，以满足不同应用的需求。
芯明天放大机构式压电扫描台P12压电扫描台特性
• 大位移320μm
• 大承载0.8kg
• 台体中心通孔
• 闭环重复定位精度高
1~3维扫描台
P12系列压电纳米定位台为1~3维直线压电扫描台，包 括X、Z、XY、XZ、XYZ等多种规格型号，通孔直径25mm 或35mm可选。
小体积、大位移、中心通孔
P12系列压电扫描台采用机构放大设计原理，超小的体 积外形，尺寸仅为60×60×24mm，可以实现大320μm 的扫描范围，中心通孔可选25mm或35mm，35mm通孔 对应台体外形尺寸为70×70×24mm。
台体采用FEA有限元分析优化设计，具有零摩擦、超高 导向精度、纳米级分辨率等优点。
P12系列压电扫描台内置高可靠性表面绝缘压电陶瓷， 确保了扫描台的可靠性与稳定性。
P12.Z300闭环稳定时间图
P12系列压电扫描台具有优异的阶跃稳定性，下图为P12.Z300 大位移320μm闭环稳定时间图。
P12压电扫描台典型应用
• 扫描干涉 • 共焦显微
• 晶圆定位 • 表面测量
• 图像处理与稳定 • 光学捕获
P12压电扫描台技术参数：
型号 |
尾缀S-闭环 尾缀K-开环 |
P12.X100S P12.X100K |
P12.Z100S P12.Z100K |
P12.Z200S P12.Z200K |
P12.Z300S P12.Z300K |
P12.XY100S P12.XY100K |
P12.XYZ100S P12.XYZ100K |
单位 |
运动自由度 | X | Z | Z | Z | X、Y | X、Y、Z |
| |
标称行程范围(0~120V) | 80 | 80 | 160 | 240 | 80/轴 | 80/轴 | μm±20% | |
大行程范围(-20~150V) | 110 | 110 | 210 | 320 | 110/轴 | 110/轴 | μm±20% | |
传感器类型 | SGS/- | SGS/- | SGS/- | SGS/- | SGS/- | SGS/- |
| |
通孔尺寸 | Ø25/Ø35 | Ø25/Ø35 | Ø25/Ø35 | Ø25/Ø35 | Ø25/Ø35 | Ø25/Ø35 | mm | |
闭/开环分辨率 | 7/4 | 7/4 | 7/4 | 11/5 | 7/4 | 7/4 | nm | |
闭环线性度 | 0.05/- | 0.05/- | 0.1/- | 0.4/- | 0.05/- | 0.15/- | %F.S. | |
闭环重复定位精度 | 0.01/- | 0.01/- | 0.03/- | 0.15/- | 0.03/- | 0.05/- | %F.S. | |
俯仰/偏航/滚动 | <10 | <10 | <15 | <15 | <10 | <15 | µrad | |
推/拉力 | 30/10 | 30/10 | 30/10 | 30/10 | 25/8 | 20/4 | N | |
运动方向刚度 | 0.3 | 0.3 | 0.2 | 0.1 | X0.25/Y0.3 | X0.3/Y0.25/Z0.2 | N/μm±20% | |
空载谐振频率 | 230 | 220 | 150 | 100 | X180/Y230 | X230/Y180/Z150 | Hz±20% | |
闭/开环空载阶跃时间 | 10/0.8 | 10/0.8 | 15/1.6 | 30/2.4 | 15/0.8 | 30/0.8 | ms±20% | |
闭环空载 工作频率 | 10%行程 | 100 | 100 | 50 | 30 | 100 | 50 |
Hz±20% |
行程 | 9 | 10 | 5 | 3 | 9 | 5 | ||
大承载 | 0.8 | 0.8 | 0.5 | 0.4 | 0.7 | 0.6 | kg | |
静电容量 | 1.8 | 1.8 | 3.6 | 5.4 | 1.8/轴 | 1.8/轴 | μF±20% | |
材质 | 钢、铝 | 钢、铝 | 钢、铝 | 钢、铝 | 钢、铝 | 钢、铝 |
| |
重量 | 140 | 140 | 200 | 260 | 200 | 260 | g±5% | |
以上参数是采用E00系列压电控制器测得。
